硅薄膜氣壓計
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    目前,氣壓傳感器的主要類型有利用金屬薄膜偏移的電容型和利用硅薄膜壓電電阻效應的應變計型。本文簡要介紹后者。這種壓力傳感器用在非常廣闊的領域,在氣象方面主要用于測量大氣壓。圖1給出了各種硅薄膜壓力傳感器的基

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石塚宏,張余豐.硅薄膜氣壓計[J].氣象科技,1986,(2):87

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